Telah dilakukan deposisi lapisan Zine Phthalocyanine (ZnPc) di atas lapisan polistiren dengan menggunakan metode evaporasi vakum. Lapisan polistiren dideposisikan pada permukaan substrat quartz crystal microbalance (QCM) dengan menggunakan spin coater. Lapisan ZnPc dideposisikan dengan menggunakan evaporator vakum dengan tiga variasi laju deposisi yaitu 1 39 times 10-4 8 08 times 10-2 dan 7 41 times 10-1 micro m/s. morfologi lapisan dan kekasaran permukaan dianalisis dengan SEM dan alat pengukur kekasaran permukaan TMS-1200 TopMap. Dari hasil SEM terlihat bahwa struktur lapisan ZnPc yang dihasilkan denganlaju deposisi1 39 times 10-4 dan 8 08 times 10-2 micro m/s memiliki ukuran pori dan serta ZnPc yang lebih kecil dari pori dan serat yang dihasilkan dengan laju deposisi 7 41 times 10-1 micro m/s. Peningkatan laju deposisi dapat mengakibatkan banya molekul ZnPc yang berikatan dan membentuk sera sehingga terbentuk serat dalam ukuran yang besar. Akibat semakin banyak molekul yang berikatan membentuk serat yang lebih besar menyebabkan volume rongga atau ropi meningkat. Laju deposisi dapat mempengaruhi kekasaran permukaan lapisan ZnPc dan nilai kekasaran permukaan proporsional dengan morfologi lapisan. Berdasarkan hasil analisis TMS-1200 TopMap Lapisan dengan laju deposisi 7 41 times 10-1 micro m/s memiliki tingkat kekasaran permukaan lapisan yang paling tinngi yaitu 1310nm.