Telah dilakukan analisis identifikasi precursor dan hasil degradasi senyawa senjata kimia diethyl methylphosphonat (DEMP) methyl phosphonic acid (MPA) dalam sampel air dan dimethyl methyl phosphonat (DMMP) ethyl phosphonic acid (EPA) dalam sampel tanah. Contoh yang dianalisa merupakan contoh senyawa tributilphosphat (TBP) 40 ug/mL dan poliethilene glycol 56 24 ug/mL ditambahkan sebagai background dan sampel tanah kering yang berpasir. Identifikasi dilakukan dengan metode kromatografi gas spektrometri massa - elektron ionisani (GCMS-EI). Ekstraksi fasa organik pada pH netral sililasi dari fasa air yang diuapkan di mana triethylamine/methanol-sililasi dan kation exchange-sililasi digunakan untuk ekstraksi senyawa - senyawa precursor dan hasil degradasi sebelum diinjeksikan ke GCMS. Dari hasil analisis diperoleh waktu retensi 8 9 dan 10 97 menit masing - masing untuk diethyl methylphosphonat dan bis(trimethylsilyl) methylphosphonate dalam sampel air sedangkan dalam sampel tanah 6 62 dan 12 06 menit untuk dimethyl methylphosphonat dan bis(trimethylsilyl) ethylphosphonate. Total Ion Chromatography (TIC) yang dihasilkan dari GCMS dievaluasi dengan menggunakan Library Data Base NIST (National Institute of Standards and Technology) dan AMDIS (Automated Mass Spectral Deconvolution and Identification System). Spektrum yang dihasilkan memberikan nilai base peak pada m/z 97 untuk diethyl methylphosphonate m/z 225 untuk bis(trimethylsilyl) methylphosphonate m/z 94 untukdimethyl methylphosphonate dan m/z 239 untuk bis(trimethylsilyl) ethylphosphonate sedangkan retention index (RI) yang dihitung digunakan untuk mengonfirmasi masing-masing senyawa precursor.